ชั้นวางแก๊สพิเศษ
การออกแบบคุณลักษณะ
สามารถแบ่งออกเป็นกระบอกเดียว (1 กระบวนการ) / กระบอกสูบคู่ (2 กระบวนการ) / สามกระบอก (2 กระบวนการ + 1 N2)
1. การออกแบบเหล็กเดี่ยวมักใช้ในสถาบันวิจัยหรือห้องปฏิบัติการกระบวนการนี้ยังไม่ได้ผลิตจำนวนมาก ปริมาณการใช้ก๊าซมีน้อย และไซต์สามารถประสานงานและหยุดได้ตลอดเวลาเพื่อเปลี่ยนกระบอกสูบ มีข้อดีของการประหยัดพื้นที่และต้นทุนต่ำ แต่ต้องมีการจัดการและการประสานงานรายวันเพื่อหลีกเลี่ยง ความสูญเสียเนื่องจากการหยุดชะงักของกระบวนการ
2. Double-steel และ Sansteel มักใช้ในโรงงานผลิตจำนวนมาก และไม่อนุญาตให้หยุดกระบวนการนี้เมื่อกระบอกสูบเหล็กหมด กระบอกสูบสำรองอีกกระบอกจะเปลี่ยนเป็นจ่ายแก๊สโดยอัตโนมัติความแตกต่างที่ใหญ่ที่สุดระหว่างสองรูปแบบนี้คือไนโตรเจนบริสุทธิ์ในท่อระบายนั้นมาจากกระบอกสูบเหล็กหรือส่วนท้ายของโรงงานเมื่อการกำจัดใช้ระบบ PN2
–เมื่อโรงงานเป็นผู้จัดหา ระบบจ่ายก๊าซพิเศษทั้งหมด ไม่ว่าจะเข้ากันได้หรือไม่ก็ตาม จะเชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายเดียวกันทั้งหมด มีค่าความเสี่ยงสูงกว่าในกรณีที่ PN2 ของระบบจ่ายส่วนกลางหยุดชะงักและระบบเตือนภัยเสียหายอีกครั้ง ก๊าซที่เข้ากันไม่ได้สองตัวจะใช้การไล่อากาศในเวลาเดียวกันเหตุการณ์ระเบิดสามารถเกิดขึ้นได้และลักษณะเดียวกันสามารถใช้กระบอกสูบเดียวกันในการกวาดล้างได้
ต้นทุนที่เพิ่มขึ้นและพื้นที่จำกัดมาก ซึ่งเป็นวิธีที่ดีในกรณีฉุกเฉิน
3. ค่าใช้จ่ายของที่วางแก๊ส Sangang จะไม่แย่ไปกว่านี้มากนัก และความปลอดภัยจะดีที่สุด ตราบใดที่พื้นที่อนุญาต ควรเป็นตัวเลือกแรก
แอปพลิเคชัน
เหมาะสำหรับห้องปฏิบัติการของวิทยาลัย, ห้องปฏิบัติการวิเคราะห์วัสดุ, เซมิคอนดักเตอร์แบบชิป, เซลล์แสงอาทิตย์แบบโซลาร์เซลล์, วิศวกรรมชีวการแพทย์, วัสดุใหม่ของไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เป็นต้น
