บทนำ
ตู้ลำเลียงก๊าซพิเศษได้รับการออกแบบมาสำหรับจ่ายก๊าซไวไฟ ระเบิด กัดกร่อน เป็นพิษ และอันตรายอื่นๆ
ระบบสามารถแบ่งออกเป็นประเภท: อัตโนมัติเต็มรูปแบบ กึ่งอัตโนมัติ และดำเนินการด้วยตนเองฟังก์ชันพื้นฐานประกอบด้วยการล้างอัตโนมัติ การสลับอัตโนมัติ และการตัดไฟอัตโนมัติในสถานการณ์ฉุกเฉิน (เมื่อสัญญาณเตือนภัยที่ตั้งไว้ทำงาน)
ถังแก๊สอัตโนมัติควบคุมโดย PLC หน้าจอสัมผัสเป็นส่วนต่อประสานระหว่างคนกับเครื่องจักร และเซ็นเซอร์ความดันที่ติดตั้งโดยอุปกรณ์
อุปกรณ์ต่างๆ เช่น อุปกรณ์ปรับอากาศ วาล์วนิวเมติกส์ เครื่องวัดอัตราการไหล ฯลฯ ตระหนักถึงการทำงานที่ปลอดภัยและมีประสิทธิภาพของอุปกรณ์ฟังก์ชันอินเทอร์ล็อกความปลอดภัยในการตั้งโปรแกรม PLC ภายในของมิเตอร์ และการเลือกที่เหมาะสมและการจัดวางชิ้นส่วนวาล์วที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการผลิตในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ข้อกำหนดสำหรับการจัดหาอย่างต่อเนื่องและความบริสุทธิ์สูงของก๊าซพิเศษในตัวกลาง แต่ยังเพื่อให้มั่นใจในการผลิตตามปกติของโรงงานและชีวิตส่วนตัวของพนักงาน ความปลอดภัย.