บทบาทที่สำคัญของระบบการกระจายก๊าซในการผลิตในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์!

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ก๊าซจะทำงานทั้งหมดและเลเซอร์ได้รับความสนใจทั้งหมด ในขณะที่เลเซอร์ทำลวดลายทรานซิสเตอร์ Etch เป็นซิลิกอนการกัดที่วางซิลิกอนครั้งแรกและแบ่งเลเซอร์ลงเพื่อสร้างวงจรที่สมบูรณ์เป็นชุดของก๊าซ ไม่น่าแปลกใจที่ก๊าซเหล่านี้ซึ่งใช้ในการพัฒนาไมโครโปรเซสเซอร์ผ่านกระบวนการหลายขั้นตอนนั้นมีความบริสุทธิ์สูง นอกเหนือจากข้อ จำกัด นี้หลายคนมีข้อกังวลและข้อ จำกัด อื่น ๆ ก๊าซบางชนิดมีความเย็นและอื่น ๆ มีการกัดกร่อนและยังมีสารอื่น ๆ ที่เป็นพิษสูง

โดยรวมแล้วข้อ จำกัด เหล่านี้ทำให้ระบบการจัดจำหน่ายก๊าซการผลิตสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นความท้าทายที่สำคัญ ข้อกำหนดของวัสดุมีความต้องการ นอกเหนือจากข้อกำหนดของวัสดุอาร์เรย์การกระจายก๊าซเป็นอาร์เรย์ไฟฟ้าที่ซับซ้อนของระบบที่เชื่อมต่อระหว่างกัน สภาพแวดล้อมที่ประกอบขึ้นมีความซับซ้อนและทับซ้อนกัน การผลิตขั้นสุดท้ายเกิดขึ้นในสถานที่ซึ่งเป็นส่วนหนึ่งของกระบวนการติดตั้ง การเชื่อม Orbital ช่วยให้เป็นไปตามข้อกำหนดการกระจายก๊าซที่มีข้อกำหนดสูงในขณะที่การผลิตในสภาพแวดล้อมที่แน่นและท้าทายสามารถจัดการได้มากขึ้น

วิธีการใช้ก๊าซในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ก่อนที่จะพยายามวางแผนการผลิตระบบจำหน่ายก๊าซมีความจำเป็นที่จะต้องเข้าใจอย่างน้อยพื้นฐานของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ที่แกนกลางของมันเซมิคอนดักเตอร์ใช้ก๊าซเพื่อสะสมของแข็งใกล้กับพื้นผิวบนพื้นผิวในลักษณะที่มีการควบคุมสูง ของแข็งที่สะสมเหล่านี้จะถูกปรับเปลี่ยนโดยการแนะนำก๊าซเพิ่มเติมเลเซอร์, สารเคมีและความร้อน ขั้นตอนในกระบวนการกว้างคือ: 

การสะสม: นี่คือกระบวนการในการสร้างเวเฟอร์ซิลิกอนเริ่มต้น ก๊าซสารตั้งต้นของซิลิคอนจะถูกสูบเข้าไปในห้องสะสมสุญญากาศและสร้างเวเฟอร์ซิลิคอนบาง ๆ ผ่านการปฏิสัมพันธ์ทางเคมีหรือทางกายภาพ

Photolithography: ส่วนภาพถ่ายหมายถึงเลเซอร์ ในสเปกตรัมการพิมพ์หินอัลตราไวโอเลต (EUV) ที่สูงกว่าที่ใช้ในการทำชิปสเปคสูงสุดเลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์จะใช้ในการกัดวงจรไมโครโปรเซสเซอร์ลงในเวเฟอร์

การแกะสลัก: ในระหว่างกระบวนการแกะสลักก๊าซฮาโลเจนคาร์บอนจะถูกสูบเข้าไปในห้องเพื่อเปิดใช้งานและละลายวัสดุที่เลือกในสารตั้งต้นของซิลิกอน กระบวนการนี้แกะสลักวงจรที่พิมพ์ด้วยเลเซอร์ลงบนพื้นผิวอย่างมีประสิทธิภาพ

ยาสลบ: นี่เป็นขั้นตอนเพิ่มเติมที่เปลี่ยนค่าการนำไฟฟ้าของพื้นผิวสลักเพื่อกำหนดเงื่อนไขที่แน่นอนภายใต้การดำเนินการเซมิคอนดักเตอร์

การหลอม: ในกระบวนการนี้ปฏิกิริยาระหว่างเลเยอร์เวเฟอร์จะถูกกระตุ้นโดยความดันและอุณหภูมิสูง โดยพื้นฐานแล้วมันสรุปผลลัพธ์ของกระบวนการก่อนหน้าและสร้างโปรเซสเซอร์ที่สรุปไว้ในเวเฟอร์

การทำความสะอาดห้องและสาย: ก๊าซที่ใช้ในขั้นตอนก่อนหน้าโดยเฉพาะอย่างยิ่งการแกะสลักและยาสลบมักจะเป็นพิษและปฏิกิริยา ดังนั้นห้องกระบวนการและสายก๊าซที่ให้อาหารมันจะต้องเต็มไปด้วยก๊าซที่เป็นกลางเพื่อลดหรือกำจัดปฏิกิริยาที่เป็นอันตรายจากนั้นเติมด้วยก๊าซเฉื่อยเพื่อป้องกันการบุกรุกของก๊าซที่ปนเปื้อนใด ๆ จากสภาพแวดล้อมภายนอก

ระบบการกระจายก๊าซในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มักจะซับซ้อนเนื่องจากก๊าซที่แตกต่างกันจำนวนมากที่เกี่ยวข้องและการควบคุมการไหลของก๊าซอุณหภูมิและความดันที่จะต้องรักษาไว้ตลอดเวลา สิ่งนี้มีความซับซ้อนมากขึ้นโดยความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษที่จำเป็นสำหรับแต่ละก๊าซในกระบวนการ ก๊าซที่ใช้ในขั้นตอนก่อนหน้าจะต้องถูกล้างออกจากเส้นและห้องหรือเป็นกลางอย่างอื่นก่อนขั้นตอนต่อไปของกระบวนการจะเริ่มขึ้น ซึ่งหมายความว่ามีเส้นพิเศษจำนวนมากอินเทอร์เฟซระหว่างระบบท่อเชื่อมและท่ออินเทอร์เฟซระหว่างท่อและท่อและเครื่องควบคุมก๊าซและเซ็นเซอร์รวมถึงการเชื่อมต่อระหว่างส่วนประกอบและวาล์วที่กล่าวถึงก่อนหน้านี้ทั้งหมดและระบบปิดผนึกที่ออกแบบมาเพื่อป้องกันการปนเปื้อนท่อส่งก๊าซธรรมชาติ

นอกจากนี้ภายนอกห้องสะอาดและก๊าซพิเศษจะติดตั้งระบบจ่ายก๊าซจำนวนมากในสภาพแวดล้อมที่สะอาดและพื้นที่ที่ จำกัด เฉพาะเพื่อลดอันตรายใด ๆ ในกรณีที่เกิดการรั่วไหลโดยไม่ตั้งใจ การเชื่อมระบบก๊าซเหล่านี้ในสภาพแวดล้อมที่ซับซ้อนนั้นไม่ใช่เรื่องง่าย อย่างไรก็ตามด้วยความระมัดระวังการใส่ใจในรายละเอียดและอุปกรณ์ที่เหมาะสมงานนี้สามารถทำได้สำเร็จ

ระบบจำหน่ายก๊าซในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

วัสดุที่ใช้ในระบบการกระจายก๊าซเซมิคอนดักเตอร์มีความผันแปรสูง พวกเขาอาจรวมถึงสิ่งต่าง ๆ เช่นท่อโลหะที่มี PTFE ที่มีเส้นและท่อเพื่อต้านทานก๊าซกัดกร่อนสูง วัสดุที่พบบ่อยที่สุดที่ใช้สำหรับการวางท่ออเนกประสงค์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์คือสแตนเลส 316L ซึ่งเป็นสแตนเลสคาร์บอนต่ำ เมื่อพูดถึง 316L เมื่อเทียบกับ 316, 316L มีความต้านทานต่อการกัดกร่อนแบบ intergranular มากขึ้น นี่คือการพิจารณาที่สำคัญเมื่อต้องรับมือกับก๊าซที่มีปฏิกิริยาสูงและมีความผันผวนสูงซึ่งสามารถกัดกร่อนคาร์บอนได้ การเชื่อม 316L สแตนเลสสตีลปล่อยคาร์บอนน้อยลง นอกจากนี้ยังช่วยลดศักยภาพในการกัดเซาะขอบเขตของเมล็ดซึ่งสามารถนำไปสู่การกัดกร่อนของหลุมในรอยเชื่อมและโซนที่ได้รับผลกระทบจากความร้อน

เพื่อลดความเป็นไปได้ของการกัดกร่อนท่อที่นำไปสู่การกัดกร่อนของสายผลิตภัณฑ์และการปนเปื้อนสแตนเลส 316L เชื่อมด้วยก๊าซป้องกันอาร์กอนบริสุทธิ์และรางเชื่อมก๊าซทังสเตนป้องกันเป็นมาตรฐานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการเชื่อมเดียวที่ให้การควบคุมที่จำเป็นในการรักษาสภาพแวดล้อมที่มีความบริสุทธิ์สูงในกระบวนการท่อ การเชื่อมวงโคจรอัตโนมัติให้เฉพาะการควบคุมกระบวนการที่ทำซ้ำได้ที่จำเป็นในการเชื่อมในการผลิตระบบการกระจายก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ ความจริงที่ว่าหัวเชื่อมวงโคจรที่ล้อมรอบสามารถรองรับพื้นที่ที่แออัดและยากลำบากที่จุดตัดที่ซับซ้อนระหว่างพื้นที่กระบวนการเป็นข้อได้เปรียบที่สำคัญของกระบวนการ

บริษัท เซินเจิ้น Wofei Technology Co. , Ltd มีประสบการณ์มากกว่า 10 ปีในการจัดหาก๊าซอุตสาหกรรมและก๊าซพิเศษวัสดุระบบจ่ายก๊าซและวิศวกรรมก๊าซสำหรับตลาดเซมิคอนดักเตอร์ LED, DRAM และ TFT-LCD เราไม่เพียง แต่สามารถจัดหาวาล์วและอุปกรณ์ที่หลากหลายสำหรับก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์แบบกึ่งตัวนำเท่านั้น แต่ยังออกแบบท่อก๊าซและการติดตั้งอุปกรณ์สำหรับลูกค้าของเรา