โซลูชั่นเทคโนโลยีสำหรับระบบการส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์

เทคโนโลยีท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นส่วนสำคัญของระบบจ่ายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งเป็นเทคโนโลยีสำคัญในการส่งมอบก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงที่จำเป็นไปยังจุดใช้งานและยังคงรักษาคุณภาพที่ผ่านการรับรองไว้ เทคโนโลยีท่อก๊าซที่มีความสุขสูงรวมถึงการออกแบบที่ถูกต้องของระบบการเลือกอุปกรณ์และอุปกรณ์เสริมการก่อสร้างและการติดตั้งและการทดสอบ ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมาข้อกำหนดที่เข้มงวดมากขึ้นเกี่ยวกับความบริสุทธิ์และเนื้อหาที่ไม่บริสุทธิ์ของก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงในการผลิตผลิตภัณฑ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ที่แสดงโดยวงจรรวมขนาดใหญ่ได้ทำให้เทคโนโลยีท่อของก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและเน้นย้ำมากขึ้น ต่อไปนี้เป็นภาพรวมโดยย่อของการส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงจากการเลือกวัสดุof การก่อสร้างเช่นเดียวกับการยอมรับและการจัดการรายวัน

ประเภทของก๊าซทั่วไป

การจำแนกประเภทของก๊าซทั่วไปในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์-

ก๊าซทั่วไป-ก๊าซขนาดใหญ่-: ไฮโดรเจน (H₂₎, ไนโตรเจน (N₂), ออกซิเจน (o₂), อาร์กอน (ก₂) ฯลฯ

ก๊าซพิเศษคือ SIH₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCl,CF₄ ,NH_3,ป๊อปล_3, SIH2CL₂ Sihcl3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,ร่วม,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… ฯลฯ

ประเภทของก๊าซพิเศษสามารถจัดเป็นกัดกร่อนได้แก๊ส, พิษแก๊สไวไฟได้แก๊สติดไฟได้แก๊ส, เฉื่อยแก๊สฯลฯ ก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ที่ใช้กันทั่วไปโดยทั่วไปจะถูกจัดประเภทดังนี้

(i) กัดกร่อน / เป็นพิษแก๊ส: hcl, bf₃, WF₆, HBR, SIH₂Cl₂, NH₃, pH₃, CL₂, BCL₃… ฯลฯ

(ii) ไวไฟแก๊ส: ชม₂, ch₄, SIH₄, pH₃, ash3, sih₂Cl₂, b₂H₆, CH2F_2,ch₃F, CO … ฯลฯ

(iii) การติดไฟแก๊ส: o₂, CL₂, n₂o, nf₃… ฯลฯ

(iv) เฉื่อยแก๊ส: N₂, cf₄, C₂F₆, C₄F_8,SF₆, CO₂, ne, kr, เขา… ฯลฯ

ก๊าซเซมิคอนดักเตอร์จำนวนมากเป็นอันตรายต่อร่างกายมนุษย์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งก๊าซเหล่านี้บางอย่างเช่น SIH₄ การเผาไหม้ที่เกิดขึ้นเองตราบใดที่การรั่วไหลจะตอบสนองอย่างรุนแรงกับออกซิเจนในอากาศและเริ่มเผาไหม้ และเถ้า₃ความเป็นพิษสูงการรั่วไหลเล็กน้อยอาจทำให้เกิดความเสี่ยงต่อชีวิตมนุษย์อาจเป็นเพราะอันตรายที่ชัดเจนเหล่านี้ดังนั้นข้อกำหนดด้านความปลอดภัยของการออกแบบระบบจึงสูงเป็นพิเศษ

ขอบเขตการใช้งานของก๊าซ  

ในฐานะที่เป็นวัตถุดิบขั้นพื้นฐานที่สำคัญของอุตสาหกรรมสมัยใหม่ผลิตภัณฑ์ก๊าซถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายและมีก๊าซทั่วไปหรือก๊าซพิเศษจำนวนมากที่ใช้ในโลหะวิทยา, เหล็ก, ปิโตรเลียม, อุตสาหกรรมเคมี, เครื่องจักร, อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์, แก้ว, เซรามิก, วัสดุก่อสร้าง, การแปรรูปอาหาร, การแพทย์และการแพทย์ การประยุกต์ใช้ก๊าซมีผลกระทบที่สำคัญต่อเทคโนโลยีชั้นสูงของเขตข้อมูลเหล่านี้โดยเฉพาะและเป็นก๊าซวัตถุดิบที่ขาดไม่ได้หรือก๊าซกระบวนการ เฉพาะกับความต้องการและการส่งเสริมภาคอุตสาหกรรมใหม่และวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีสมัยใหม่ผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรมก๊าซสามารถพัฒนาได้โดยการก้าวกระโดดและขอบเขตในแง่ของความหลากหลายคุณภาพและปริมาณ

การใช้ก๊าซในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์

การใช้ก๊าซมีบทบาทสำคัญในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะอย่างยิ่งกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางในอุตสาหกรรมต่าง ๆ ตั้งแต่ ULSI แบบดั้งเดิม TFT-LCD ไปจนถึงอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (MEMS) ในปัจจุบันซึ่งทั้งหมดใช้กระบวนการ semiconductor ความบริสุทธิ์ของก๊าซมีผลกระทบอย่างเด็ดขาดต่อประสิทธิภาพของส่วนประกอบและผลผลิตผลิตภัณฑ์และความปลอดภัยของการจัดหาก๊าซนั้นเกี่ยวข้องกับสุขภาพของบุคลากรและความปลอดภัยของการดำเนินงานของโรงงาน

ความสำคัญของการส่งท่อความบริสุทธิ์สูงในการขนส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง

ในกระบวนการหลอมเหลวสแตนเลสและวัสดุทำก๊าซประมาณ 200 กรัมสามารถดูดซึมต่อตันได้ หลังจากการประมวลผลของสแตนเลสไม่เพียง แต่พื้นผิวเหนียวที่มีสารปนเปื้อนต่าง ๆ แต่ยังอยู่ในโครงตาข่ายโลหะของมันยังดูดซับก๊าซจำนวนหนึ่ง เมื่อมีการไหลเวียนของอากาศผ่านไปป์ไลน์โลหะดูดซับส่วนนี้ของก๊าซจะเข้าสู่การไหลเวียนของอากาศอีกครั้งทำให้เกิดมลพิษก๊าซบริสุทธิ์ เมื่อการไหลของอากาศในท่อไหลไม่ต่อเนื่องท่อจะดูดซับก๊าซภายใต้ความกดดันและเมื่อการไหลของอากาศหยุดลงก๊าซจะถูกดูดซับโดยท่อจะทำให้เกิดแรงดันตกเพื่อแก้ไขและก๊าซที่ได้รับการแก้ไขก็เข้าสู่ก๊าซบริสุทธิ์ในท่อ ในเวลาเดียวกันการดูดซับและความละเอียดซ้ำแล้วซ้ำอีกเพื่อให้โลหะบนพื้นผิวด้านในของหลอดยังสร้างผงจำนวนหนึ่งและอนุภาคฝุ่นโลหะนี้ยังทำให้เกิดมลพิษก๊าซบริสุทธิ์ภายในหลอด ลักษณะของหลอดนี้เป็นสิ่งจำเป็นเพื่อให้แน่ใจว่าความบริสุทธิ์ของก๊าซขนส่งซึ่งไม่เพียง แต่ต้องมีความเรียบสูงมากของพื้นผิวด้านในของหลอด แต่ยังมีความต้านทานการสึกหรอสูง

เมื่อใช้ก๊าซที่มีประสิทธิภาพการกัดกร่อนที่แข็งแกร่งต้องใช้ท่อสแตนเลสสตีลที่ทนต่อการกัดกร่อนสำหรับท่อ มิฉะนั้นท่อจะผลิตจุดกัดกร่อนบนพื้นผิวด้านในเนื่องจากการกัดกร่อนและในกรณีที่ร้ายแรงจะมีพื้นที่ขนาดใหญ่ของการลอกโลหะหรือแม้กระทั่งการเจาะซึ่งจะปนเปื้อนก๊าซบริสุทธิ์ที่จะกระจาย

การเชื่อมต่อของการส่งก๊าซและการกระจายก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและความสะอาดสูงและการกระจายของอัตราการไหลขนาดใหญ่

โดยหลักการแล้วพวกเขาทั้งหมดจะถูกเชื่อมและหลอดที่ใช้จะต้องมีการเปลี่ยนแปลงในองค์กรเมื่อใช้การเชื่อม วัสดุที่มีปริมาณคาร์บอนสูงเกินไปอยู่ภายใต้การซึมผ่านของอากาศของชิ้นส่วนที่เชื่อมเมื่อเชื่อมซึ่งทำให้การเจาะก๊าซซึ่งกันและกันภายในและภายนอกท่อและทำลายความบริสุทธิ์ความแห้งและความสะอาดของก๊าซที่ส่งผ่านทำให้สูญเสียความพยายามทั้งหมดของเรา

โดยสรุปสำหรับก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและท่อส่งก๊าซพิเศษมีความจำเป็นต้องใช้การรักษาพิเศษของท่อสแตนเลสที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อสร้างระบบท่อส่งก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูง (รวมถึงท่อ, อุปกรณ์, วาล์ว, VMB, VMP) ในการกระจายก๊าซที่บริสุทธิ์สูง

แนวคิดทั่วไปของเทคโนโลยีสะอาดสำหรับการส่งและการกระจายท่อ

การส่งผ่านร่างกายของก๊าซที่บริสุทธิ์และสะอาดสูงด้วยท่อหมายความว่ามีข้อกำหนดหรือการควบคุมบางอย่างสำหรับการขนส่งก๊าซสามด้าน

ความบริสุทธิ์ของก๊าซ: เนื้อหาของบรรยากาศที่ไม่บริสุทธิ์ในความบริสุทธิ์ของ GGAS: เนื้อหาของบรรยากาศที่ไม่บริสุทธิ์ในก๊าซมักจะแสดงเป็นเปอร์เซ็นต์ของความบริสุทธิ์ของก๊าซเช่น 99.9999%ซึ่งแสดงเป็นอัตราส่วนปริมาตรของปริมาณบรรยากาศที่ไม่บริสุทธิ์ ppm, PPB, ppt

ความแห้งกร้าน: ปริมาณความชื้นติดตามในก๊าซหรือปริมาณที่เรียกว่าเปียกชื้นมักจะแสดงในแง่ของจุดน้ำค้างเช่นจุดน้ำค้างในบรรยากาศ -70 ค.

ความสะอาด: จำนวนอนุภาคสารปนเปื้อนที่มีอยู่ในก๊าซขนาดอนุภาคของ µm จำนวนอนุภาค/m3 ในการแสดงออกสำหรับอากาศอัดซึ่งมักจะแสดงในแง่ของจำนวนมก./m3 ของสารตกค้างที่เป็นของแข็งที่หลีกเลี่ยงไม่ได้ซึ่งครอบคลุมปริมาณน้ำมัน

การจำแนกขนาดของมลพิษ: อนุภาคมลพิษส่วนใหญ่หมายถึงการกัดเซาะท่อ, การสึกหรอ, การกัดกร่อนที่เกิดจากอนุภาคโลหะ, อนุภาคเขม่าบรรยากาศ, เช่นเดียวกับจุลินทรีย์, phages และการควบแน่นของก๊าซที่ประกอบด้วยความชื้น ฯลฯ ตามขนาดของขนาดอนุภาคของอนุภาค

a) อนุภาคขนาดใหญ่ - ขนาดอนุภาคสูงกว่า5μm

b) อนุภาค-เส้นผ่านศูนย์กลางของวัสดุระหว่าง0.1μm-5μm

C) อนุภาคอัลตร้าไมโคร-ขนาดอนุภาคน้อยกว่า0.1μm

เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการประยุกต์ใช้เทคโนโลยีนี้เพื่อให้สามารถรับรู้ถึงความเข้าใจขนาดอนุภาคและหน่วยμmได้ชุดของอนุภาคเฉพาะจะมีให้สำหรับการอ้างอิง

ต่อไปนี้คือการเปรียบเทียบอนุภาคเฉพาะ