กระบวนการผลิตก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์รวมถึงกระบวนการหลายอย่างเช่นการสังเคราะห์การทำให้บริสุทธิ์การเติมการวิเคราะห์และการทดสอบการผสมและสัดส่วน เพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ดาวน์สตรีมเพื่อความบริสุทธิ์และเนื้อหาของสิ่งเจือปนกระบวนการทำให้บริสุทธิ์มีความสำคัญมาก ขึ้นอยู่กับองค์ประกอบของก๊าซการสังเคราะห์ต้นน้ำหรือก๊าซดิบการกลั่นอุณหภูมิต่ำหรือการทำให้บริสุทธิ์หลายขั้นตอน
ข้อกำหนดด้านความสะอาดสูง
กระบวนการเตรียมก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์สามารถแบ่งออกเป็นสองบล็อกหลักของการเตรียมการสังเคราะห์ต้นน้ำและการทำให้บริสุทธิ์ซึ่งเป็นของกระบวนการผลิตสารเคมี ขนาดของไปป์ไลน์การผลิตมีขนาดใหญ่และไม่มีข้อกำหนดระดับความสะอาดเป็นพิเศษ หลังจากการทำให้บริสุทธิ์ดาวน์สตรีมผลิตภัณฑ์จะเต็มไปด้วยก๊าซและผสมเพื่อการเตรียมการ ไปป์ไลน์การผลิตมีขนาดเล็กและมีความต้องการระดับความสะอาด จำเป็นต้องปฏิบัติตามข้อกำหนดมาตรฐานของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ข้อกำหนดการปิดผนึกสูง
เนื่องจากกิจกรรมทางเคมีของพวกเขาก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์จึงมีความต้องการสูงเกี่ยวกับวัสดุและการปิดผนึกของระบบกระบวนการผลิต เช่นเดียวกับข้อกำหนดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มันป้องกันการรั่วไหลของอินเทอร์เฟซที่เกิดจากการแนะนำของสิ่งสกปรกหรือการกัดกร่อนของก๊าซพิเศษ ระบบยังสามารถใช้เพื่อป้องกันการเปิดตัวสิ่งสกปรกหรือการรั่วไหลของส่วนต่อประสานที่เกิดจากการกัดกร่อนของก๊าซพิเศษ
ข้อกำหนดด้านความมั่นคงที่มีคุณภาพสูง
คุณภาพของก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์รวมถึงตัวชี้วัดจำนวนมากเช่นความบริสุทธิ์และปริมาณอนุภาคที่ไม่บริสุทธิ์ การเปลี่ยนแปลงใด ๆ ในตัวชี้วัดจะส่งผลต่อผลลัพธ์ของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ดาวน์สตรีม ดังนั้นเพื่อให้แน่ใจว่าความสอดคล้องของตัวชี้วัดผลิตภัณฑ์ก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ระบบกระบวนการเตรียมการเพื่อควบคุมความเสถียรของตัวชี้วัดก็มีความสำคัญเช่นกัน
เนื่องจากกิจกรรมทางเคมีและข้อกำหนดด้านคุณภาพของ EGP ระบบการผลิตสำหรับการเตรียม EGP โดยเฉพาะอย่างยิ่งระบบการทำให้บริสุทธิ์ปลายน้ำจะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงการปิดผนึกสูงความสะอาดสูงและความสอดคล้องที่มีคุณภาพสูงและการก่อสร้างส่วนประกอบทางวิศวกรรมจะต้องเป็นไปตามมาตรฐานของอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
สิ่งที่เรามักจะเรียกว่า "ความบริสุทธิ์สูง" ในทางทฤษฎีคำจำกัดความของความบริสุทธิ์ของสารเช่นก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงสารเคมีที่มีความบริสุทธิ์สูง ฯลฯ ระบบกระบวนการหรือส่วนประกอบของระบบกระบวนการที่ใช้กับสารที่มีความบริสุทธิ์สูง ระบบการเตรียมก๊าซแบบพิเศษแบบอิเล็กทรอนิกส์ต้องการอุปกรณ์การใช้งานที่มีความบริสุทธิ์สูงวาล์วและส่วนประกอบอื่น ๆ ของเหลวเช่นอุปกรณ์และวาล์วที่ประมวลผลด้วยวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงและกระบวนการผลิตที่สะอาดและมีโครงสร้างเพื่อการล้างและทำความสะอาดได้ง่าย ด้วยประสิทธิภาพการปิดผนึกสูง ส่วนประกอบของเหลวเหล่านี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้เป็นไปตามเส้นทางการไหลของกระบวนการของแอปพลิเคชันโดยใช้ข้อกำหนดทางวิศวกรรมและการก่อสร้างของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
การเชื่อมต่อท่อความบริสุทธิ์สูง
ปะเก็นโลหะ VCR การเชื่อมต่อซีลใบหน้าและการเชื่อมต่อเชื่อมก้นอัตโนมัติมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการเรียกร้องความต้องการกระบวนการความบริสุทธิ์ของระบบของเหลวเนื่องจากความสามารถในการตอบสนองทั้งการเปลี่ยนเส้นทางการไหลที่ราบรื่นที่การเชื่อมต่อไม่มีโซนซบเซาและประสิทธิภาพการปิดผนึกสูง มั่นใจได้ว่าการเชื่อมต่อที่ทำซ้ำและสม่ำเสมอและประสิทธิภาพการปิดผนึกทุกครั้งที่มีการถอดปะเก็นที่ผิดรูปออกและเปลี่ยน
หลอดจะเชื่อมโดยใช้ระบบเชื่อมวงโคจรอัตโนมัติ หลอดได้รับการปกป้องด้วยก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงทั้งภายในและภายนอก อิเล็กโทรดทังสเตนหมุนไปตามวงโคจรเพื่อการเชื่อมที่มีคุณภาพสูง การเชื่อมวงโคจรอัตโนมัติจะละลายท่อโดยไม่แนะนำวัสดุอื่น ๆ การได้รับการเชื่อมที่มีคุณภาพสูงโดยการควบคุมท่อผนังบาง ๆ ซ้ำ ๆ เป็นเรื่องยากที่จะบรรลุด้วยการเชื่อมด้วยตนเอง
ปะเก็นเมทัลปะเก็น VCR การเชื่อมต่อซีลใบหน้า
การเชื่อมต่อการเชื่อมก้นวงโคจรอัตโนมัติของท่อ
วาล์วที่มีความบริสุทธิ์สูง
กิจกรรมทางเคมีของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่ติดไฟได้ระเบิดกัดกร่อนและเป็นพิษเป็นความต้องการสูงในการปิดผนึกของวาล์ว เพื่อปรับปรุงความน่าเชื่อถือในการปิดผนึกความต้องการของวาล์วแบบไม่มีการบรรจุเพื่อป้องกันการรั่วไหลภายนอกนั่นคือการสลับการทำงานของก้านวาล์วและตัววาล์วระหว่างซีลโดยใช้เครื่องสูบลมโลหะหรือไดอะแฟรมโลหะเพื่อกำจัดการรั่วไหลเนื่องจากการเสียดสี มักใช้วาล์วที่ปิดผนึกและมีการปิดผนึกและไดอะแฟรมที่ใช้กันทั่วไปในระบบกระบวนการสำหรับการใช้งานที่มีความบริสุทธิ์สูงเนื่องจากความน่าเชื่อถือที่มากขึ้นของแมวน้ำและการทำความสะอาดและการเปลี่ยนการเปลี่ยนวาล์วภายในที่ง่ายขึ้น
วาล์วที่ปิดผนึกเป็นเครื่องสูบลมเป็นโครงสร้างวาล์วแบบไม่มีการบรรจุที่ช่วยให้สามารถเปิดและการควบคุมการไหลได้ช้า ใช้สำหรับการเติมก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์พร้อมข้อกำหนดการไหลของความปลอดภัยหรือบนขวดต้นกำเนิดสารตั้งต้นที่มีข้อกำหนดด้านความปลอดภัยสูง ซีลปลายก้านโลหะทั้งหมดช่วยให้อุณหภูมิทำงานต่ำมากและใช้สำหรับการทำให้เป็นของเหลวในการแช่แข็งของก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ในถังผลิตภัณฑ์สำเร็จรูปหลังจากการกลั่นด้วยการแช่แข็งสำหรับท่อ
วาล์วซีล Diaphragm Springless เป็นวาล์ว 1/4″ Snap-Open วาล์วสำหรับใช้เป็นวาล์วสวิตช์ที่ควบคุมโดยอัตโนมัติในการส่งมอบท่อส่ง พวกเขามักใช้ในการใช้งานที่มีความดันสูงเป็นพิเศษการใช้งานที่มีความบริสุทธิ์สูงเนื่องจากเส้นทางการไหลภายในที่เรียบง่ายปริมาตรภายในขนาดเล็กและความสะดวกในการล้างและการเปลี่ยน
วาล์วปิดผนึกไดอะแฟรมที่ปิดผ่านปลายลำต้นสามารถเปิดได้อย่างช้าๆและใช้ที่แรงดันในการทำงานที่สูงกว่าวาล์วที่ปิดผนึกไดอะแฟรม พวกเขาใช้กันอย่างแพร่หลายในการเติมก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ความดันสูงหรือขวดต้นกำเนิดสารตั้งต้น
วาล์ว Bellows Seal Seal ไม่เพียง แต่สามารถใช้ในระบบกระบวนการอุณหภูมิต่ำเป็นพิเศษที่ -200 องศา แต่ยังป้องกันการรั่วไหลของสื่ออันตรายในชั้นบรรยากาศ มักใช้สำหรับก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ที่อันตรายมากเช่นระบบไส้ไซเลน
บริษัท เซินเจิ้น Wofei Technology Co. , Ltd ซึ่งมีประสบการณ์มากกว่า 10 ปีในการจัดหาก๊าซอุตสาหกรรมและก๊าซพิเศษวัสดุระบบจ่ายก๊าซและวิศวกรรมก๊าซสำหรับเซมิคอนดักเตอร์, LED, DRAM, ตลาด TFT-LCD เราสามารถจัดหาวัสดุที่จำเป็นเพื่อผลักดันผลิตภัณฑ์ของคุณไปยังอุตสาหกรรม เราไม่เพียง แต่สามารถจัดหาวาล์วและอุปกรณ์ที่หลากหลายสำหรับก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์แบบกึ่งตัวนำเท่านั้น แต่เรายังสามารถออกแบบท่อก๊าซและการติดตั้งอุปกรณ์สำหรับลูกค้าของเรา หากคุณมีความต้องการใด ๆ ในพื้นที่นี้โปรดติดต่อเราที่ 27919860
เวลาโพสต์: Jul-19-2023