ความนิยมของก๊าซความบริสุทธิ์สูงพิเศษในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ก๊าซความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษมีความสำคัญตลอดห่วงโซ่อุปทานเซมิคอนดักเตอร์ ในความเป็นจริงสำหรับ FAB ทั่วไปก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นค่าใช้จ่ายวัสดุที่ใหญ่ที่สุดหลังจากซิลิกอนเอง หลังจากการขาดแคลนชิปทั่วโลกอุตสาหกรรมกำลังขยายตัวเร็วกว่าที่เคย - และความต้องการก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงเพิ่มขึ้น

ก๊าซจำนวนมากที่ใช้กันมากที่สุดในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์คือไนโตรเจนฮีเลียมไฮโดรเจนและอาร์กอน

Nไอโซโทป

ไนโตรเจนคิดเป็น 78% ของบรรยากาศของเราและมีมากมายมาก นอกจากนี้ยังเกิดขึ้นว่าเป็นสารเคมีเฉื่อยและไม่ดี เป็นผลให้ไนโตรเจนได้ค้นพบวิธีการในอุตสาหกรรมหลายแห่งว่าเป็นก๊าซเฉื่อยที่ประหยัดต้นทุน

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เป็นผู้บริโภครายใหญ่ของไนโตรเจน โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัยคาดว่าจะใช้ไนโตรเจนสูงถึง 50,000 ลูกบาศก์เมตรต่อชั่วโมง ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ไนโตรเจนทำหน้าที่เป็นจุดประสงค์ทั่วไปในการแทรกซึมและการกำจัดก๊าซป้องกันเวเฟอร์ซิลิกอนที่ไวต่อการเกิดออกซิเจนและความชื้นในอากาศ

ฮีเลียม

ฮีเลียมเป็นก๊าซเฉื่อย ซึ่งหมายความว่าเช่นเดียวกับไนโตรเจนฮีเลียมนั้นเฉื่อยทางเคมี - แต่ก็มีข้อได้เปรียบเพิ่มเติมของค่าการนำความร้อนสูง สิ่งนี้มีประโยชน์อย่างยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทำให้สามารถนำความร้อนออกไปได้อย่างมีประสิทธิภาพจากกระบวนการพลังงานสูงและช่วยปกป้องพวกเขาจากความเสียหายทางความร้อนและปฏิกิริยาเคมีที่ไม่พึงประสงค์

ไฮโดรเจน

ไฮโดรเจนถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางตลอดกระบวนการผลิตอิเล็กทรอนิกส์และการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ก็ไม่มีข้อยกเว้น โดยเฉพาะอย่างยิ่งไฮโดรเจนใช้สำหรับ:

การหลอม: เวเฟอร์ซิลิคอนมักจะถูกทำให้ร้อนถึงอุณหภูมิสูงและเย็นลงอย่างช้าๆเพื่อซ่อมแซม (หลอม) โครงสร้างผลึก ไฮโดรเจนใช้ในการถ่ายโอนความร้อนให้ทั่วเวเฟอร์และช่วยในการสร้างโครงสร้างผลึกใหม่

Epitaxy: ไฮโดรเจนความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษใช้เป็นสารลดลงในการสะสม epitaxial ของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์เช่นซิลิคอนและเจอร์เมเนียม

การสะสม: ไฮโดรเจนสามารถเจือลงในฟิล์มซิลิกอนเพื่อให้โครงสร้างอะตอมของพวกเขาไม่เป็นระเบียบมากขึ้นช่วยเพิ่มความต้านทาน

การทำความสะอาดพลาสมา: พลาสมาไฮโดรเจนมีประสิทธิภาพโดยเฉพาะอย่างยิ่งในการกำจัดการปนเปื้อนดีบุกออกจากแหล่งกำเนิดแสงที่ใช้ในการพิมพ์หิน UV

อาร์กอน

อาร์กอนเป็นก๊าซที่มีเกียรติอีกชนิดหนึ่งดังนั้นจึงแสดงปฏิกิริยาต่ำเช่นเดียวกับไนโตรเจนและฮีเลียม อย่างไรก็ตามพลังงานไอออนไนซ์ต่ำของอาร์กอนทำให้มีประโยชน์ในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากความสะดวกในการไอออนไนซ์สัมพัทธ์อาร์กอนจึงถูกใช้เป็นก๊าซพลาสมาหลักสำหรับการกัดและปฏิกิริยาการสะสมในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้อาร์กอนยังใช้ในเลเซอร์ excimer สำหรับการพิมพ์หิน UV

ทำไมความบริสุทธิ์จึงมีความสำคัญ

โดยทั่วไปแล้วความก้าวหน้าในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ได้รับความสำเร็จผ่านการปรับขนาดขนาดและเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์รุ่นใหม่นั้นมีขนาดเล็กลง สิ่งนี้ให้ผลประโยชน์หลายอย่าง: ทรานซิสเตอร์มากขึ้นในปริมาณที่กำหนดกระแสที่ดีขึ้นการใช้พลังงานลดลงและการสลับเร็วขึ้น

อย่างไรก็ตามเมื่อขนาดวิกฤตลดลงอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ก็มีความซับซ้อนมากขึ้นเรื่อย ๆ ในโลกที่ตำแหน่งของอะตอมของแต่ละบุคคลมีความสำคัญเกณฑ์ความทนทานต่อความผิดนั้นแน่นมาก เป็นผลให้กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่ทันสมัยต้องการก๊าซกระบวนการที่มีความบริสุทธิ์สูงสุด

WOFLY เป็นองค์กรไฮเทคที่เชี่ยวชาญด้านวิศวกรรมระบบแอปพลิเคชันก๊าซ: ระบบก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์, ระบบวงจรก๊าซในห้องปฏิบัติการ, ระบบจ่ายก๊าซส่วนกลางอุตสาหกรรม, ระบบก๊าซจำนวนมาก (ของเหลว), ก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและระบบท่อก๊าซพิเศษกระบวนการจัดส่งทางเทคนิคการออกแบบทางเทคนิคและการออกแบบทางเทคนิค ไซต์โครงการการทดสอบระบบโดยรวมการบำรุงรักษาและผลิตภัณฑ์สนับสนุนอื่น ๆ ในลักษณะบูรณาการ