เชื่อมต่อท่อส่งก๊าซโรงงานเซมิคอนดักเตอร์

การต่อสายช่วยให้เครื่องบรรลุฟังก์ชันที่ต้องการโดยการเชื่อมต่อเพื่อส่งยูทิลิตี้Hook up คือการเชื่อมต่อสาธารณูปโภค (เช่น น้ำ ไฟฟ้า แก๊ส สารเคมี ฯลฯ) ที่โรงงานจัดหาให้เข้ากับเครื่องจักรและอุปกรณ์เสริมผ่านจุดเชื่อมต่อสาธารณูปโภคที่สงวนไว้ (พอร์ตหรือแท่ง) ผ่านสายเคเบิลท่อ

เครื่องจักรใช้ยูทิลิตี้เหล่านี้เพื่อให้เป็นไปตามข้อกำหนดของกระบวนการที่จ่ายไปหลังจากใช้งานเครื่องแล้ว น้ำหรือของเสียที่รีไซเคิลได้ (เช่น น้ำเสีย ก๊าซเสีย ฯลฯ) ที่สร้างโดยเครื่องจะเชื่อมต่อกับหน้าสัมผัสที่สงวนไว้ของระบบผ่านทางท่อส่ง จากนั้นจึงส่งไปยังระบบกู้คืนโรงงานหรือของเสีย ระบบบำบัดก๊าซโครงการเชื่อมต่อส่วนใหญ่ประกอบด้วย: CAD, ย้ายเข้า, เจาะแกน, แผ่นดินไหว, สูญญากาศ, ก๊าซ, สารเคมี DI, PCW, CW, ด่วน, ไฟฟ้า, ท่อระบายน้ำ

GAS HOOK-UP ความเข้าใจพื้นฐานของความรู้ทางวิชาชีพ

ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ สิ่งที่เรียกว่าการต่อท่อส่งก๊าซเรียกว่า "sp1hook up" ในแง่ของบัคแก๊ส (ก๊าซทั่วไป เช่น CDA, GN2, pN2, PO2, Phe, par, H2 เป็นต้น) และจุดบินขึ้น จากจุดทางออกของถังเก็บก๊าซของแหล่งจ่ายก๊าซไปยังท่อหลักย่อยผ่านท่อเมนเรียกว่า "sp1hook up" ซึ่งจากจุดทางออกของขาออกไปยังจุดทางเข้าของเครื่องจักร (เครื่องมือ) หรืออุปกรณ์เรียกว่ารอง การกำหนดค่า (sp2hook up)

สำหรับก๊าซพิเศษ (ก๊าซพิเศษ เช่น ก๊าซกัดกร่อน เป็นพิษ ไวไฟ ก๊าซทำความร้อน ฯลฯ) แหล่งจ่ายก๊าซของมันคือก๊าซตู้จากจุดทางออก g/c ไปยังจุดทางเข้าหลักของ VMB (กล่องหลักของวาล์ว) หรือ VMP (แผงหลักของวาล์ว) เรียกว่า sp1hook up และจากจุดทางออกรองของ VMB หรือ VMP ติดกับจุดทางเข้าของเครื่องเรียกว่า ตะขอ sp2