อุตสาหกรรมก๊าซในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

การใช้ก๊าซในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ย้อนกลับไปในช่วงต้นปี 1950 ถึง 1960 ในระหว่างกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ก๊าซส่วนใหญ่จะใช้ในการทำความสะอาดและปกป้องวัสดุเซมิคอนดักเตอร์เพื่อให้แน่ใจว่ามีความบริสุทธิ์และคุณภาพ ในบรรดาก๊าซที่ใช้กันมากที่สุดคือไนโตรเจนและไฮโดรเจน

เมื่อเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์พัฒนาและกระบวนการผลิตดีขึ้นอย่างต่อเนื่องความต้องการก๊าซเพิ่มขึ้น ในปี 1970 การพัฒนาต่อไปของเทคโนโลยีการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การประยุกต์ใช้ก๊าซในกระบวนการสำคัญเช่นการแกะสลักและการสะสมของฟิล์มบางเพิ่มขึ้นเรื่อย ๆ และก๊าซฟลูออไรด์ (เช่น SF6) และออกซิเจนกลายเป็นการแกะสลักและการสะสมก๊าซ 2523 เห็นความต้องการก๊าซเพิ่มขึ้นอีกต่อไปด้วยการพัฒนาวงจรบูรณาการและความต้องการที่เพิ่มขึ้นสำหรับพวกเขา ไฮโดรเจนถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตรวมถึงการหลอมไฮโดรเจนและการสะสมไอไฮโดรเจน และตั้งแต่ปี 2533 ถึงปัจจุบันความต้องการก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและก๊าซที่เฉพาะเจาะจงเพิ่มขึ้นเนื่องจากขนาดอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ได้ลดลงอย่างต่อเนื่องและกระบวนการใหม่ได้รับการแนะนำ ตัวอย่างเช่นการประยุกต์ใช้การพิมพ์หินอัลตราไวโอเลตสุดขั้ว (EUV) จำเป็นต้องใช้ก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงมากเช่นไนโตรเจนและไฮโดรเจน

ก๊าซเซมิคอนดักเตอร์ยังคงเพิ่มขึ้นอย่างต่อเนื่องเมื่อการพัฒนาผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้องซึ่งขับเคลื่อนด้วยผลิตภัณฑ์มากขึ้นเรื่อย ๆ ในขณะที่ก๊าซยังเป็นแหล่งอันตรายดังนั้นผลิตภัณฑ์ที่ใช้สำหรับการบีบอัดก๊าซผลิตภัณฑ์ตรวจจับก๊าซและป้องกันการรั่วไหลของก๊าซได้เกิดขึ้นเช่นหน่วยงานกำกับดูแลแรงดัน

ตัวควบคุมความดัน: ตัวควบคุมแรงดันเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการควบคุมแรงดันก๊าซ พวกเขามักจะประกอบด้วยวาล์วควบคุมและเซ็นเซอร์ความดัน หน่วยงานกำกับดูแลแรงดันใช้อินพุตก๊าซความดันสูงและทำให้ความดันของก๊าซเอาท์พุทมีเสถียรภาพโดยการปรับวาล์วเพื่อตอบสนองความต้องการของแอปพลิเคชันที่เฉพาะเจาะจง หน่วยงานกำกับดูแลความดันมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในด้านต่าง ๆ เช่นอุตสาหกรรมการผลิตและห้องปฏิบัติการรวมถึงในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อให้แน่ใจว่าความมั่นคงและความปลอดภัยของการจัดหาก๊าซ

วาล์วก๊าซ: วาล์วก๊าซใช้ในการควบคุมการไหลของก๊าซและเพื่อปิดทางเดินก๊าซ พวกเขามักจะมีฟังก์ชั่นเปิด/ปิดที่เปิดหรือปิดการไหลของก๊าซ มีวาล์วแก๊สหลายประเภทรวมถึงวาล์วด้วยตนเองวาล์วไฟฟ้าและวาล์วนิวเมติก พวกเขาใช้กันอย่างแพร่หลายในระบบก๊าซเพื่อควบคุมการไหลความดันและอัตราการไหลของก๊าซ

เกจวัดแรงดันแก๊ส: มาตรวัดแรงดันแก๊สใช้ในการวัดระดับความดันของก๊าซ พวกเขามักจะติดตั้งในสถานที่สำคัญในระบบก๊าซเพื่อตรวจสอบการเปลี่ยนแปลงแรงดันและตรวจสอบให้แน่ใจว่าอยู่ในขอบเขตที่ปลอดภัย มาตรวัดความดันก๊าซมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมการผลิตและห้องปฏิบัติการและอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ก็มีส่วนร่วมเช่นกัน

เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของก๊าซ: เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของก๊าซใช้ในการตรวจจับการรั่วไหลในระบบก๊าซ พวกเขาตรวจพบการปรากฏตัวของการรั่วไหลของก๊าซและเสียงเตือนภัยเพื่อให้สามารถดำเนินการในเวลาที่เหมาะสมเพื่อป้องกันอุบัติเหตุการรั่วไหล เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของก๊าซมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการใช้งานทางอุตสาหกรรมสารเคมีน้ำมันและก๊าซและอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ก็มีส่วนร่วมเช่นกัน