ส่วนประกอบของระบบของเหลวสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

สารเคมีและก๊าซที่แตกต่างกันที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต้องการระบบของเหลวที่แข็งแกร่งสำหรับการจัดหาอย่างต่อเนื่องในทุกขั้นตอนของการผลิต ระบบของเหลวเหล่านี้จะต้องสามารถรองรับเงื่อนไขกระบวนการที่จำเป็นสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในขณะที่มั่นใจว่ากระบวนการที่สะอาดปราศจากการรั่วไหลและควบคุม ดังนั้นการเลือกส่วนประกอบของระบบของเหลวจึงมีความสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่แม่นยำ

การเลือกส่วนประกอบของระบบของเหลวที่มีคุณภาพสูงนั้นมีความหมายเหมือนกันกับประสิทธิภาพการผลิตที่เพิ่มขึ้นและการหยุดทำงานของระบบลดลง ด้วยความเคารพต่อกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เราจะหารือเกี่ยวกับบทบาทที่สำคัญของส่วนประกอบของระบบของเหลวและความสำคัญของความน่าเชื่อถือ

ความสำคัญของส่วนประกอบของระบบของเหลวในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ส่วนประกอบของระบบของเหลวในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รวมถึงการผสมสารเคมีที่แตกต่างกันการถ่ายทอดและระบบควบคุมสำหรับการขนส่งของเหลวเคมีอย่างปลอดภัยในสภาพแวดล้อมที่ควบคุม ระบบของเหลวในอุดมคติมี:

➢การผสมสารเคมีสม่ำเสมอ

➢การควบคุมการปนเปื้อน

➢อุณหภูมิและการควบคุมความดัน

➢การจัดหาสารเคมีที่ไม่ต่อเนื่อง

เฉพาะส่วนประกอบที่มีคุณภาพสูงสุดเท่านั้นที่สามารถให้เงื่อนไขในอุดมคติในระบบของเหลวเซมิคอนดักเตอร์ ข้อดีของการใช้ส่วนประกอบดังกล่าว ได้แก่ :

ถูกต้อง: ส่วนประกอบเช่นวาล์วหน่วยงานกำกับดูแลและปั๊มทำงานควบคู่ไปกับการจัดส่งทางเคมีที่ถูกต้องไปยังเซลล์การผลิต อินพุตที่แม่นยำช่วยลดความเสี่ยงของการเปลี่ยนแปลงการไหลซึ่งปรับปรุงคุณภาพของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย

ความเข้ากันได้และความสะอาด: ส่วนประกอบของระบบของเหลวที่มีองค์ประกอบของวัสดุที่เข้ากันได้กับของเหลวกระบวนการจะช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อน นอกจากนี้การติดตั้งส่วนประกอบระบบของเหลวเหล่านี้ปราศจากการรั่วไหลช่วยลดสารปนเปื้อนของอนุภาคทำให้สภาพแวดล้อมการผลิตที่สะอาดและควบคุมได้สำหรับผลผลิตที่ดีขึ้น

ความปลอดภัย: ก๊าซและสารเคมีที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อาจเป็นอันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์ อย่างไรก็ตามส่วนประกอบของระบบของเหลวที่ออกแบบมาเพื่อป้องกันการรั่วไหลและการรั่วไหลสามารถส่งของเหลวเหล่านี้ไปยังหน่วยการผลิตในลักษณะที่ปลอดภัยและควบคุมได้

ประสิทธิภาพ: การก่อสร้างที่ปราศจากการรั่วไหลและการควบคุมที่แม่นยำของส่วนประกอบของระบบของเหลวคุณภาพสูงช่วยลดการหยุดทำงานของการทำงานและความต้องการการบำรุงรักษาบ่อยครั้งส่งเสริมการผลิตที่ราบรื่นและมีประสิทธิภาพเพื่อให้บรรลุเป้าหมายการผลิต

โซลูชันส่วนประกอบของระบบของเหลวที่ผลิตได้จากคุณภาพ

ส่วนประกอบของระบบของเหลวต้องการการติดตั้งที่มีคุณภาพสูงเพื่อตอบสนองความท้าทายของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ส่วนประกอบสำคัญที่ส่งผลกระทบต่อ FAB รวมถึง:

วาล์ว: วาล์วประสิทธิภาพสูงเช่นไดอะแฟรมสูบลมหรือวาล์วเข็มควบคุมการไหลของของไหลในโรงงานผลิต วาล์วที่ทนทานและมีคุณภาพสูงให้ความแม่นยำและการควบคุมที่จำเป็นในการปรับปรุงประสิทธิภาพของกระบวนการผลิตและการจัดการสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ

อุปกรณ์: อุปกรณ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับระบบท่อและท่อและส่วนประกอบที่สำคัญอื่น ๆ ให้การเชื่อมต่อที่ปิดผนึกเพื่อเพิ่มความปลอดภัยและความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบของระบบของเหลว

ท่อ: สำหรับข้อกำหนดการผลิตที่แม่นยำท่อที่หุ้มฉนวนช่วยในการจัดการความร้อนเพื่อให้เงื่อนไขกระบวนการภายในห้องผลิตสามารถรักษาได้อย่างเหมาะสม สิ่งนี้มีความสำคัญเนื่องจากความผันผวนของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยสามารถสร้างความเสียหายต่อชิปและนำไปสู่การผลิตของเสีย

ท่อที่ยืดหยุ่น: ในกรณีที่เงื่อนไขอนุญาตให้ใช้ท่อที่ยืดหยุ่นเพื่อลดจำนวนอุปกรณ์ในชุดระบบของเหลว ท่องอเพื่อให้ได้เส้นทางของเหลวที่ต้องการ อุปกรณ์ที่น้อยลงหมายถึงความเสี่ยงน้อยกว่าการรั่วไหลและความเสียหายเนื่องจากการสั่นสะเทือนและการเคลื่อนไหว

หน่วยงานกำกับดูแล: หน่วยงานกำกับดูแลควบคุมความดันอย่างมีประสิทธิภาพในแต่ละขั้นตอนของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การไหลคงที่และแม่นยำจะได้รับผลผลิตที่สม่ำเสมอและมีคุณภาพสูงในขณะที่หลีกเลี่ยงสารเคมีของเหลวที่สูญเปล่าและวัสดุพิเศษ

ตัวกรอง: อนุภาคเดี่ยวสามารถส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพของเซมิคอนดักเตอร์ การใช้ตัวกรองความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษช่วยลดการปนเปื้อนของอนุภาคและลดความเสียหายของชิป

ประสิทธิภาพของระบบของเหลวในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถทำได้ด้วยวาล์วที่มีคุณภาพสูงของ AFK-Lok อุปกรณ์เสริม, เครื่องควบคุม, ท่อและตัวกรอง