1 | แรงดันใช้งานสูงสุด 20.6 Mpa. |
2 | สูงสุดอุณหภูมิในการทำงาน 204 ℃ (สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงถึง 454 ℃ ในเวลานี้วัสดุปิดผนึกจะถูกแทนที่ด้วยกราไฟท์ขยาย) |
3 | ระบบกรอง มลพิษที่เป็นอนุภาค ก๊าซ ของเหลวสามารถใช้ได้ |
4 | ตัวกรองตัวกรองซินเตอร์ผงโลหะสแตนเลสความแม่นยำของตัวกรอง 2μm ~ 40μm |
5 | ปริมาณการกรอง 1x 10 -6~1×10-2L/min.ซม.2พ่อ |
6 | สามารถเปลี่ยนไส้กรองได้ |
คุณสมบัติผลิตภัณฑ์ของตัวกรอง
1 | ช่วงการใช้งานกว้าง ช่วงการไหล 15 ถึง 300SL / นาที |
2 | มีความเข้ากันได้ดีกับก๊าซในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูงส่วนใหญ่ |
3 | ความสามารถในการกรอง 3 อนุภาคนาโนช่วยรักษาประสิทธิภาพการไหลที่สูงและแรงดันตกที่น้อยมาก |
4 | พื้นผิวขัดเงาด้วยไฟฟ้า 5Ra สามารถป้องกันมลพิษภายในได้ |
5 | อบด้วยไนโตรเจนร้อนหลังจากน้ำปราศจากไอออนเพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐานกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ |
6 | สภาพแวดล้อมการผลิตการประชุมเชิงปฏิบัติการปลอดเชื้อปลอดฝุ่น 1,000 ระดับ การทำความสะอาดและบรรจุภัณฑ์ |
7 | ทดสอบการรั่วไหลของฮีเลียม 100% |
ทางเข้า | เต้าเสียบ | |
1 | ข้อต่อท่อ 1/8″ | ข้อต่อท่อ 1/8″ |
2 | ข้อต่อท่อ 1/4″ | ข้อต่อท่อ 1/4″ |
3 | ข้อต่อท่อ 3/8″ | ข้อต่อท่อ 3/8″ |
4 | ข้อต่อท่อ 1/2″ | ข้อต่อท่อ 1/2″ |
5 | ข้อต่อท่อ 6 มม | ข้อต่อท่อ 6 มม |
6 | ข้อต่อท่อ 8 มม | ข้อต่อท่อ 8 มม |
7 | ข้อต่อท่อ 10 มม | ข้อต่อท่อ 10 มม |
8 | ข้อต่อท่อ 12 มม | ข้อต่อท่อ 12 มม |
9 | 1/8″ ตัวเมีย NPT | 1/8″ ตัวเมีย NPT |
10 | 1/4″ ตัวเมีย NPT | 1/4″ ตัวเมีย NPT |
11 | 1/4″ ตัวผู้ NPT | 1/4″ ตัวผู้ NPT |
12 | 3/8″ ตัวผู้ NPT | 3/8″ ตัวผู้ NPT |
13 | 1/2″ ตัวผู้ NPT | 1/2″ ตัวผู้ NPT |
พารามิเตอร์ประสิทธิภาพผลิตภัณฑ์ของตัวกรอง
1 | ความแม่นยำในการกรอง | ≥0.0025μm | |
2 | ประสิทธิภาพการกรอง | อัตราการกำจัด 99.99999% ≥0.0025μm | |
3 | จัดอันดับกระแส | 15 ลิตร/นาที | |
4 | 60 ลิตร/นาที | ||
5 | 120L/นาที | ||
6 | 200L/นาที | ||
7 | 300L/นาที | ||
8 | องค์ประกอบตัวกรอง | องค์ประกอบตัวกรอง | 316L/PTFE |
9 | ที่อยู่อาศัย | สแตนเลส 316L | |
10 | สภาพการทำงาน | แรงดันขาเข้าสูงสุด | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | ความดันแตกต่างสูงสุด | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | อุณหภูมิในการทำงานสูงสุด | 430 ℃ (ก๊าซเฉื่อย) | |
13 | อัตราการรั่วไหลของฮีเลียม | 1×10-9 atm.cc/วินาที | |
14 | เสร็จสิ้นพื้นผิว | ≤Ra 5μin |